[发明专利]图像传感器及其形成方法

摘要

本发明的一些方面涉及一种图像传感器，包括具有前侧和背侧的半导体衬底。在位于前侧和后侧之间的半导体衬底中布置光电检测器。在半导体衬底的前侧下方布置互连结构，使得在互连结构和半导体衬底的背侧之间布置半导体衬底的前侧。下部环状结构延伸到半导体衬底的背侧中并横向地围绕光电检测器。通过下部环状结构围绕的光栅结构从衬底的背侧延伸至光电检测器内的位置。本发明的实施例还提供了一种图像传感器的形成方法。

主权项

1.一种图像传感器，包括：半导体衬底，具有前侧和背侧，其中，在位于所述前侧和所述背侧之间的所述半导体衬底中布置光电检测器；互连结构，布置在所述半导体衬底的前侧下方，使得在所述互连结构和所述半导体衬底的背侧之间布置所述半导体衬底的前侧；下部环状结构，延伸到所述半导体衬底的背侧中并横向围绕所述光电检测器；以及光栅结构，被所述下部环状结构围绕，并从所述衬底的背侧延伸至所述光电检测器内的位置。