[发明专利]一种带梯形脊肋阵列的微散热器有效
| 申请号： | 201810993974.2 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN109346444B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 王瑞金;袁魏佳;刘湘琪;朱泽飞 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/473 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带梯形脊肋阵列的微散热器，包括上基板和下基板，所述上基板和下基板键合在一起，所述上基板上设有进口和出口，所述上基板上刻蚀出分流槽、上梯形脊肋阵列和合流槽；所述下基板上刻蚀出分流槽、下梯形脊肋阵列和合流槽；所述下基板与热源接触；所述合流槽、分流槽和梯形脊肋阵列形成通道，冷却工质从进口导入，经过该通道，从出口导出，本发明所述的梯形脊肋阵列能改变流动结构，产生垂直主流方向的次流，使冷却工质在散热器内的流动产生混沌对流，强化冷热流体的混合和换热，提高了微散热器的传热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梯形 阵列 散热器 | ||
【主权项】：
1.一种带梯形脊肋阵列的微散热器，包括上基板和下基板，所述上基板和下基板键合在一起，其特征在于，所述上基板上设有进口和出口，所述上基板上刻蚀出分流槽、上梯形脊肋阵列和合流槽；所述下基板上刻蚀出分流槽、下梯形脊肋阵列和合流槽；所述下基板与热源接触；所述上基板上的分流槽和下基板上的分流槽位置对应，组成完整分流槽，所述上基板上的合流槽和下基板上的合流槽位置对应，组成完整合流槽；所述上基板的上梯形脊肋阵列和下基板的下梯形脊肋阵列在行和列上均交错排列组成完整梯形脊肋阵列；所述完整合流槽、完整分流槽和完整梯形脊肋阵列形成通道，冷却工质从进口导入，经过该通道，从出口导出。
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