[发明专利]转移装置、焊接装置和靶材组件的焊接方法在审
| 申请号： | 201810971104.5 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN110856938A | 公开（公告）日： | 2020-03-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;丁向前 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B23K31/02;B23K37/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 237400 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种转移装置、焊接装置和靶材组件的焊接方法，其中转移装置包括：真空部件，用于产生真空吸力；与真空部件固定连接的移动翻转部件，移动翻转部件用于带动真空部件移动。其中焊接装置用于焊接待焊接基板，包括：基台和上述转移装置。其中靶材组件的焊接方法包括：提供上述焊接装置；提供具有焊料面的第一基板；将第一基板置于基台上；在焊料面涂布焊料层；提供第二基板，第二基板具有相对的第一面和第二面，第一面涂布有焊料层；使真空部件吸附于第二基板的第二面；通过移动翻转部件移动第二基板，使第二基板的第一面与第一基板的焊料面相对；使移动翻转部件朝向基台运动，使第一基板和第二基板压合。所述方法提高了靶材组件的焊接效率和安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 转移 装置 焊接 组件 方法 | ||
【主权项】：
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