[发明专利]基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器

摘要

一种基于二自由度压电作动器的精密工作台，本申请工作台面的两侧各有一个侧板，所述工作台面两侧的侧板下方各有一个滚子滑轨，滚子滑轨的槽内放有滚子，滚子滑轨两端弯折部与侧板外壁相连，固定套筒固定在工作台面底部，固定套筒内有压力传感器，压力调节螺钉穿过工作台面抵住压力传感器后端，振子顶部有固定轴，固定轴通过键安装在过固定套筒底部的插孔内，振子的四个弯折端的下方有对应的驱动足，压紧螺钉穿过压盖将成对的压电陶瓷片固定安装在对应振子的弯折端的斜面上。本申请工作台基于二自由度压电作动器，单个压电作动器即可输出二自由度驱动力，并且移动台只需一个，结构简单紧凑，具有非常好的应用前景。

主权项

1.一种基于二自由度压电作动器的精密工作台，包括工作台面（1）、滚子滑轨固定螺钉（2）、滚子滑轨（3）和二自由度压电作动器，其特征在于：所述二自由度压电作动器包括振子（4）、驱动足（5）、压盖（6）、固定套筒（7）、压电陶瓷片（8）、压紧螺钉（9）、固定轴（10）、键（11）、套筒固定螺钉（12）、压力传感器（13）和压力调节螺钉（14），所述工作台面（1）的两侧各有一个侧板，所述工作台面（1）两侧的侧板下方各有一个滚子滑轨（3），所述滚子滑轨（3）的槽内放有滚子，所述滚子滑轨（3）两端弯折部通过滚子滑轨固定螺钉（2）与侧板外壁相连，所述固定套筒（7）通过套筒固定螺钉（12）固定在工作台面（1）底部，所述固定套筒（7）内有压力传感器（13），所述压力调节螺钉（14）穿过工作台面（1）抵住压力传感器（13）后端，所述振子（4）顶部有固定轴（10），所述固定轴（10）通键（11）安装在过固定套筒（7）底部的插孔内，所述振子（4）为十字，所述振子（4）的端部弯折，所述振子（4）的四个弯折端的下方有对应的驱动足（5），所述压紧螺钉（9）穿过压盖（6）将成对的压电陶瓷片（8）固定安装在对应振子（4）的弯折端的斜面上。