[发明专利]基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器

说明书

一种基于二自由度压电作动器的精密工作台，本申请工作台面的两侧各有一个侧板，所述工作台面两侧的侧板下方各有一个滚子滑轨，滚子滑轨的槽内放有滚子，滚子滑轨两端弯折部与侧板外壁相连，固定套筒固定在工作台面底部，固定套筒内有压力传感器，压力调节螺钉穿过工作台面抵住压力传感器后端，振子顶部有固定轴，固定轴通过键安装在过固定套筒底部的插孔内，振子的四个弯折端的下方有对应的驱动足，压紧螺钉穿过压盖将成对的压电陶瓷片固定安装在对应振子的弯折端的斜面上。本申请工作台基于二自由度压电作动器，单个压电作动器即可输出二自由度驱动力，并且移动台只需一个，结构简单紧凑，具有非常好的应用前景。

技术领域

本发明涉及加工工作台领域，特别是涉及基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器。

背景技术

随着生产力的提高，如今的产品越来越往小型化、智能化、集成化方向发展，而这也是为机械加工出的一道难题。而机械加工中必不可少的就是零件的定位，由于传统的电磁电机必需加上减速器方可应用在定位台上，而这大大限制了定位台成本的降低。近年来，压电作动器在精密定位方面得到了应用，由于其断电自锁的特点以及可达纳米级的微小步距，使得压电作动器无需减速器即可直接应用到定位台上。虽然压电作动器步距极小，但是现有的压电作动器驱动的定位台需要各个自由度都配备一个压电作动器和一个移动台，这无疑增加了定位台的体积重量和成本。

发明内容

为了解决上述存在的问题，本发明提供基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器，该工作台基于二自由度压电作动器，其可以很好的解决以上问题，单个压电作动器即可输出二自由度驱动力，并且移动台只需一个，结构简单紧凑，具有非常好的应用前景，为达此目的，本发明提供基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器，包括工作台面、滚子滑轨固定螺钉、滚子滑轨和二自由度压电作动器，所述二自由度压电作动器包括振子、驱动足、压盖、固定套筒、压电陶瓷片、压紧螺钉、固定轴、键、套筒固定螺钉、压力传感器和压力调节螺钉，所述工作台面的两侧各有一个侧板，所述工作台面两侧的侧板下方各有一个滚子滑轨，所述滚子滑轨的槽内放有滚子，所述滚子滑轨两端弯折部通过滚子滑轨固定螺钉与侧板外壁相连，所述固定套筒通过套筒固定螺钉固定在工作台面底部，所述固定套筒内有压力传感器，所述压力调节螺钉穿过工作台面抵住压力传感器后端，所述振子顶部有固定轴，所述固定轴通键安装在过固定套筒底部的插孔内，所述振子为十字，所述振子的端部弯折，所述振子的四个弯折端的下方有对应的驱动足，所述压紧螺钉穿过压盖将成对的压电陶瓷片固定安装在对应振子的弯折端的斜面上。

本发明的进一步改进，每个滚子滑轨有至少2排滚子，考虑实际运动稳定性最好使用两排或两排以上的滚子。

本发明的进一步改进，所述振子的弯折端的斜面为45°，为了达到最好效果最好采用45°斜面。

本发明的进一步改进，所述压力传感器采用纽扣式压力传感器，压力传感器主要采用纽扣式压力传感器。

本发明提供一种基于二自由度压电作动器的精密工作台的二自由度压电作动器，所述二自由度压电作动器包括振子、驱动足、压盖、固定套筒、压电陶瓷片、压紧螺钉、固定轴、键、套筒固定螺钉、压力传感器和压力调节螺钉，所述固定套筒通过套筒固定螺钉固定在工作台面底部，所述固定套筒内有压力传感器，所述压力调节螺钉穿过工作台面抵住压力传感器后端，所述振子顶部有固定轴，所述固定轴通键安装在过固定套筒底部的插孔内，所述振子为十字，所述振子的端部弯折，所述振子的四个弯折端的下方有对应的驱动足，所述压紧螺钉穿过压盖将成对的压电陶瓷片固定安装在对应振子的弯折端的斜面上。

本发明压电作动器的进一步改进，所述振子的弯折端的斜面为45°，为了达到最好效果最好采用45°斜面。

本发明压电作动器的进一步改进，所述压力传感器采用纽扣式压力传感器。