[发明专利]基于二自由度压电作动器的精密工作台及对应压电作动器

权利要求书

1.一种基于二自由度压电作动器的精密工作台，包括工作台面（1）、滚子滑轨固定螺钉（2）、滚子滑轨（3）和二自由度压电作动器，其特征在于：所述二自由度压电作动器包括振子（4）、驱动足（5）、压盖（6）、固定套筒（7）、压电陶瓷片（8）、压紧螺钉（9）、固定轴（10）、键（11）、套筒固定螺钉（12）、压力传感器（13）和压力调节螺钉（14），所述工作台面（1）的两侧各有一个侧板，所述工作台面（1）两侧的侧板下方各有一个滚子滑轨（3），所述滚子滑轨（3）的槽内放有滚子，所述滚子滑轨（3）两端弯折部通过滚子滑轨固定螺钉（2）与侧板外壁相连，所述固定套筒（7）通过套筒固定螺钉（12）固定在工作台面（1）底部，所述固定套筒（7）内有压力传感器（13），所述压力调节螺钉（14）穿过工作台面（1）抵住压力传感器（13）后端，所述振子（4）顶部有固定轴（10），所述固定轴（10）通键（11）安装在过固定套筒（7）底部的插孔内，所述振子（4）为十字，所述振子（4）的端部弯折，所述振子（4）的四个弯折端的下方有对应的驱动足（5），所述压紧螺钉（9）穿过压盖（6）将成对的压电陶瓷片（8）固定安装在对应振子（4）的弯折端的斜面上；

每个滚子滑轨（3）有至少2排滚子；

所述振子（4）的弯折端的斜面为45°；

所述压力传感器（13）采用纽扣式压力传感器；

压力调节螺钉调节好压力后，给四对压电陶瓷片（8）通高频正弦电压，弹性体作为基极，x方向给两对压电陶瓷片（8）分别通电压，y方向分别通电压，A相位超前和滞后B相位控制x方向前进和后退，相位差大小控制速度，超前或滞后90°时速度最大，相位差为0时空振，速度为0，Y方向同理。

2.根据权利要求1所述基于二自由度压电作动器的精密工作台的二自由度压电作动器，所述二自由度压电作动器包括振子（4）、驱动足（5）、压盖（6）、固定套筒（7）、压电陶瓷片（8）、压紧螺钉（9）、固定轴（10）、键（11）、套筒固定螺钉（12）、压力传感器（13）和压力调节螺钉（14），其特征在于，所述固定套筒（7）通过套筒固定螺钉（12）固定在工作台面（1）底部，所述固定套筒（7）内有压力传感器（13），所述压力调节螺钉（14）穿过工作台面（1）抵住压力传感器（13）后端，所述 振子（4）顶部有固定轴（10），所述固定轴（10）通键（11）安装在过固定套筒（7）底部的插孔 内，所述振子（4）为十字，所述振子（4）的端部弯折，所述振子（4）的四个弯折端的下方有对 应的驱动足（5），所述压紧螺钉（9）穿过压盖（6）将成对的压电陶瓷片（8）固定安装在对应振 子（4）的弯折端的斜面上；

所述振子（4）的弯折端的斜面为45°；

所述压力传感器（13）采用纽扣式压力传感器。