[发明专利]一种半导体基板搬运装置

摘要

本发明公开了一种半导体基板搬运装置，包括进料支撑架，弯转输出架的输出端口固定连接有出料传输架，传输轴的中间位置固定连连接有进料传输轮，弯转转轴的中间位置固定连接有弯转传输轮，出料传输架的中间位置均匀转动连接有出料传输轮，弯转输出架的内侧固定连接有支撑连杆，支撑连杆远离弯转输出架的一端固定连接有精准弯转辅助机构，出料传输架的中间位置固定连接有风洁机构，本发明涉及半导体技术领域。该半导体基板搬运装置，达到了提高半导体基板的弯转传输精度，避免半导体基板传输过程中与设备之间的碰撞，保证半导体基板不受损坏，清除传输过程中基板的浮尘颗粒，保证基板表面洁净度，提高基板后续加工的精确度的目的。

主权项

1.一种半导体基板搬运装置，包括进料支撑架（1），其特征在于：所述进料支撑架（1）的输出端固定连接有弯转输出架（2），所述弯转输出架（2）的输出端口固定连接有出料传输架（3），所述进料支撑架（1）、弯转输出架（2）和出料传输架（3）的表面均匀固定连接有固定轴承（4），所述固定轴承（4）位于进料支撑架（1）的内部转动连接有传输轴（5），所述传输轴（5）的中间位置固定连连接有进料传输轮（6），所述固定轴承（4）位于弯转输出架（2）的内部转动连接有弯转转轴（7），所述弯转转轴（7）的中间位置固定连接有弯转传输轮（8），所述出料传输架（3）的中间位置均匀转动连接有出料传输轮（9），所述进料传输轮（6）的顶部设置有半导体基板（10），所述半导体基板（10）的右侧设置有辅助弯转杆（11），所述弯转输出架（2）的内侧固定连接有支撑连杆（12），所述支撑连杆（12）远离弯转输出架（2）的一端固定连接有精准弯转辅助机构（13），所述出料传输架（3）的中间位置固定连接有风洁机构（14）。