[发明专利]制备非导电性材料样品的方法有效
| 申请号： | 201810939776.8 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109001240B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 廖金枝;张兮;张南;华佑南;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202;G01N23/203;G01N23/2005 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 朱琳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制备非导电性材料样品的方法，在样品表面镀膜后，在待观测区域作相应的减薄，此时，镶嵌材料表面是镀有导电材料的，在材料表面形成一个有效的电子通路，即在样品台和镶嵌材料表面有导电通路，使得后面的入射电子不能在材料表面会聚，而影响信号的收集。本发明所使用的方法简单、快速、有效的解决了现有的非导电性材料在SEM/EBSD检测过程中而产生的电子积聚，或者由于导电镀膜过厚而影响到信号(如背反射电子)的收集问题。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 导电性 材料 样品 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备非导电性材料样品的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：把非导电性材料镶嵌在透明镶嵌材料里；步骤二：把步骤一形成的样品进行表面镀膜，镀膜材料为金或铂或钯或碳或钨；步骤三：对步骤二形成的样品中待观测区域表面的镀膜材料减薄。
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