[发明专利]乙硅烷的制备装置在审
| 申请号： | 201810907458.3 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN108751201A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 万烨;刘见华;严大洲;赵雄;郭树虎;赵宇 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 吴娅妮;于宝庆 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明一实施方式提供了一种乙硅烷的制备装置，包括过滤单元、第一精馏塔、第二精馏塔和反应器；其中，所述第一精馏塔与所述过滤单元相连，所述第二精馏塔与所述第一精馏塔相连，所述反应器与所述第二精馏塔相连。本发明一实施方式的装置，以多晶硅残液为原料，可制备出满足半导体行业应用的高纯乙硅烷。 | ||
| 搜索关键词： | 精馏塔 乙硅烷 过滤单元 制备装置 反应器 半导体行业 多晶硅 残液 高纯 制备 应用 | ||
【主权项】：
1.一种乙硅烷的制备装置，其特征在于，包括：过滤单元；第一精馏塔，与所述过滤单元相连；第二精馏塔，与所述第一精馏塔相连；以及反应器，与所述第二精馏塔相连。
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- 本实用新型公开了一种用于生产硅烷的隔壁塔，塔身自上而下依次为上塔区1、中塔区2和下塔区3，塔身一侧为进料侧，塔身另一侧为出料侧；所述中塔区包含靠近进料侧的中塔板区和靠近侧线出料侧的中填料区，所述以中塔板区和中填料区以隔壁进行分隔。使用本实用新型隔壁塔能够减少设备投资，减小占地面积，运行过程中也较为节能，提高了反应转化率，对于硅烷成本降低有较大优势。
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