[发明专利]张网位置精度测量调节装置以及张网检测调节系统有效
| 申请号： | 201810904163.0 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN108998757B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 马超;伍青峰;许进;韩丰明;黄世花;苏宇峰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种张网位置精度测量调节装置以及张网检测调节系统，张网位置精度测量调节装置包括：机台、发光模组、感光件以及夹持件，所述机台用于固定掩膜板的安装框架，所述发光模组可移动地设于所述机台上，所述发光模组包括多个发光件，所述发光件用于模拟蒸镀线源，所述感光件与所述机台连接且所述感光件与所述发光模组之间限定出用于容纳掩膜板的张网空间，所述夹持件用于夹持定位所述掩膜板。由此，使张网位置精度测量调节装置对掩膜板的定位精度高，定位更加准确、精度测量的结果更准确。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 精度 测量 调节 装置 以及 检测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种张网位置精度测量调节装置，其特征在于，包括：机台，所述机台用于固定掩膜板的安装框架；发光模组，所述发光模组可移动地设于所述机台上，所述发光模组包括多个发光件，所述发光件用于模拟蒸镀线源；感光件，所述感光件与所述机台连接且所述感光件与所述发光模组之间限定出用于容纳掩膜板的张网空间；以及夹持件，所述夹持件用于夹持定位所述掩膜板。
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