[发明专利]张网位置精度测量调节装置以及张网检测调节系统

权利要求书

1.一种张网位置精度测量调节装置，其特征在于，包括：

机台，所述机台用于固定掩膜板的安装框架；

发光模组，所述发光模组可移动地设于所述机台上，所述发光模组包括多个发光件，所述发光件用于模拟蒸镀线源；

感光件，所述感光件与所述机台连接且所述感光件与所述发光模组之间限定出用于容纳掩膜板的张网空间；以及

夹持件，所述夹持件用于夹持定位所述掩膜板。

2.根据权利要求1所述的张网位置精度测量调节装置，其特征在于，所述发光模组包括安装基座，所述安装基座可滑动地设于所述机台上，多个所述发光件在所述安装基座上呈直线形排列。

3.根据权利要求2所述的张网位置精度测量调节装置，其特征在于，所述发光件可拆卸地连接于所述安装基座。

4.根据权利要求3所述的张网位置精度测量调节装置，其特征在于，所述安装基座具有多个螺纹安装孔，多个所述安装孔中的一部分形成为使用孔且另一部分形成为预留孔，所述发光件伸入所述螺纹安装孔内与所述安装基座螺接固定。

5.根据权利要求2所述的张网位置精度测量调节装置，其特征在于，所述发光件的排列方向与所述机台的滑动方向互相垂直。

6.根据权利要求5所述的张网位置精度测量调节装置，其特征在于，还包括第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述安装基座连接以驱动所述安装基座移动，所述安装基座的下端具有滑槽，所述机台具有与所述滑槽相适配的滑轨，所述滑轨的延伸方向与所述安装基座的长度方向垂直，所述发光件在所述安装基座的长度方向依次分布。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的张网位置精度测量调节装置，其特征在于，每个所述发光件包括亮度可调节的光源和与所述光源连接的调节头，所述调节头的一端与所述光源的发光端螺纹连接且另一端与所述调节头螺纹连接，所述调节头具有供光源的光线射出的出光口，所述调节头具有调节所述出光口的出光角度的调节旋钮。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的张网位置精度测量调节装置，其特征在于，所述感光件通过安装支架与所述机台固定，所述安装支架包括多个立柱以及连接在多个所述立柱的上端的支撑板，所述感光件固定在所述支撑板的下表面，所述发光件位于所述支撑板的下方。

9.根据权利要求1-6中任一项所述的张网位置精度测量调节装置，其特征在于，还包括第二驱动电机，所述夹持件包括两个夹持臂，所述第二驱动电机一一对应地与所述夹持臂连接以驱动两个所述夹持臂相向运动或相背运动，所述夹持臂的移动方向与所述发光模组的移动方向互相垂直。

10.一种张网检测调节系统，其特征在于，包括：

控制装置；

如权利要求1-9中任一项所述的张网位置精度测量调节装置，控制装置与驱动所述发光件移动的电机、驱动所述夹持件运动的电机、所述感光件电连接，以控制所述发光件开启移动并根据所述感光件上的光学信息驱动所述夹持件运动，以对所述掩膜板定位。