[发明专利]基板处理装置、对位装置、基板处理方法以及对位方法

摘要

本发明提供一种对基板进行处理的基板处理装置、相对于固定构件对可动构件进行对位的对位装置、基板处理方法以及对位方法。在基板处理装置的向处理单元搬送基板的手部上设置有光学传感器，在与处理单元内的旋转卡盘具有固定的位置关系的固定构件上设置有光纤。当手部相对于处理单元的旋转卡盘处于预先设定的位置关系时，从光学传感器的第一光出射部出射的光由光纤的第二受光部接收并引导至光纤的第二光出射部，从第二光出射部出射的光由第一受光部接收。从光学传感器输出与第一受光部的受光量对应的受光信号。

主权项

1.一种基板处理装置，对基板进行处理，具有：固定部分；可动部分，能够相对于所述固定部分移动；光学传感器，设置于所述固定部分和所述可动部分中的一方，具有第一光出射部和第一受光部；以及导光构件，设置于所述固定部分和所述可动部分中的另一方，具有与所述第一光出射部对应的第二受光部和与所述第一受光部对应的第二光出射部，所述第一光出射部、所述第一受光部、所述第二光出射部以及所述第二受光部配置为，在所述可动部分相对于所述固定部分处于预先设定的位置关系时，所述第二受光部接收从所述第一光出射部出射的光，且所述第一受光部接收从所述第二光出射部出射的光。