[发明专利]一种生产高基频石英晶体片的加工方法在审
| 申请号： | 201810822030.9 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109067377A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 杜敏;李坡;姚晓文 | 申请（专利权）人： | 深圳中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种生产高基频石英晶体片的加工方法，包括以下步骤：1）镀膜：将基频22MHz的晶片放入电极板中，进行两次晶片表面镀膜；2）清洗：将镀膜后的晶片放入清洗治具中，进行清洗；3）腐蚀：将装有晶片的清洗治具整体放入酸罐中，进行腐蚀；4）膜层剥离：剥离晶片表面膜层，得到高基频晶片。优点：1）采用全新的晶片生产流程，解决了传统晶片加工无法研磨到200‑240MHz等高基频晶片的问题。2）操作简单，方法独特、生产成本低。3）本发明技术方案所得高基频晶片比利用水晶片倍频技术或IC倍频技术生产的晶片，有更好的相位噪声、更小的抖动值及良好的短稳特性等。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 基频晶片 镀膜 放入 基频 石英晶体片 倍频技术 晶片表面 清洗治具 膜层 清洗 剥离 加工 腐蚀 生产成本低 传统晶片 生产流程 相位噪声 研磨 电极板 水晶片 抖动 等高 生产 | ||
【主权项】：
1.一种生产高基频石英晶体片的加工方法，其特征是包括以下步骤：1）镀膜：将基频22MHz的晶片放入镀膜治具中，进行两次晶片表面镀膜；2）清洗：将镀膜后的晶片放入清洗治具中,进行清洗；3）腐蚀：将装有晶片的清洗治具整体放入酸罐中，进行腐蚀；4）膜层剥离：剥离晶片表面膜层，得到高基频晶片。
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