[发明专利]复合衬底及其制造方法在审
| 申请号： | 201810818803.6 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110752251A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 王兴民;李瑞评 | 申请（专利权）人： | 兆远科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/04 | 分类号： | H01L29/04;H01L29/06;H01L21/02;H01L23/373;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学工业园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种复合衬底及其制造方法，其制造方法包括有：提供一基材，该基材具有一基材表面，且于该基材表面具有多个孔洞；提供一填补层，该填补层包括有多个填补材料，该些填补材料分别填补于该些孔洞当中，从而制成该复合衬底。通过上述设计，可有效填平基材上的孔洞，提升外延质量，以及有效改善衬底的散热效果，提升耐高温能力。 | ||
| 搜索关键词： | 孔洞 衬底 基材 基材表面 填补材料 填补层 复合 耐高温能力 散热效果 填平 制造 填补 | ||
【主权项】：
1.一种复合衬底，包括有：/n一基材，具有一基材表面，于该基材表面具有多个孔洞；以及/n一填补层，设置于该基材表面，该填补层具有一主体以及自该主体一侧延伸形成的多个填补材料，该主体的厚度不超过10nm，该些填补材料分别填补于该些孔洞当中。/n
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