[发明专利]一种涂层坩埚的制作方法在审
申请号: | 201810815465.0 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN108950685A | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 申富强;申富胜 | 申请(专利权)人: | 上海骐杰碳素材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/10;C30B15/10;C30B35/00;C23C4/134;C23C26/00;C04B35/83;C04B35/80;C04B35/565;C04B35/56;C04B35/622 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
地址: | 200241 上海市金山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种涂层坩埚的制作方法,所述坩埚为一碳纤维绳或带编织的环形中空网状体;所述坩埚的制造过程中,包括:进行等离子热喷涂或者是固体粉末溶液预浸再烧结的步骤。本发明的坩埚埚邦和埚底采用一根碳纤维绳或多根碳纤维绳编织而成,不需要针刺预制体,不需要粘接剂,和时间过长的气相沉积的加工步骤,节省工时;克服了预制体坩埚弹性差、脆性高的缺点,可以有效吸收石英坩埚的热形变应力;同时大大减少了坩埚埚邦的重量,减少了坩埚的热熔和杂质含量,大大降低材料成本和使用成本。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 碳纤维绳 编织 脆性 等离子热喷涂 针刺预制体 材料成本 固体粉末 环形中空 加工步骤 气相沉积 石英坩埚 有效吸收 制造过程 烧结 热形变 网状体 预制体 粘接剂 热熔 预浸 制作 | ||
【主权项】:
1.一种涂层坩埚的制作方法,所述坩埚为一碳纤维绳或带编织的环形中空网状体;其特征在于,所述坩埚的制造过程中,包括:进行等离子热喷涂或者是固体粉末溶液预浸再烧结的步骤。
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