[发明专利]异物检查装置以及异物检查方法有效
| 申请号： | 201810764883.1 | 申请日： | 2018-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN109521493B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 光江丰彰;泽崎富男;金山知惠子 | 申请（专利权）人： | 杉野机械股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/10 | 分类号： | G01V8/10;G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种确定残留于工件的异物的位置或形状的异物检查装置。对工件(17)的检查部位的异物进行检查的异物检查装置具有：具有吸入异物的吸入口(33)的喷嘴(30)、排气装置(25)、将喷嘴(30)和排气装置(25)连接的抽吸通路(21)和对与从吸入口(33)吸入的所述异物的形状有关的异物信息进行检测的检测装置(40、73、91)。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种异物检查装置，所述异物检查装置对工件(17)的检查部位的异物进行检查，其特征在于，所述异物检查装置具有：喷嘴(30)，所述喷嘴(30)具有将所述异物吸入的吸入口(33)；排气装置(25)；抽吸通路(21)，所述抽吸通路(21)连接所述喷嘴(30)和所述排气装置(25)；和检测装置(40、73、91)，所述检测装置(40、73、91)配置于所述抽吸通路(21)，对与从所述吸入口(33)吸入的所述异物的形状有关的异物信息进行检测。
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