[发明专利]异物检查装置以及异物检查方法

权利要求书

1.一种异物检查装置，所述异物检查装置对工件(17)的检查部位的异物进行检查，其特征在于，所述异物检查装置具有：

喷嘴(30)，所述喷嘴(30)具有将所述异物吸入的吸入口(33)；

排气装置(25)；

抽吸通路(21)，所述抽吸通路(21)连接所述喷嘴(30)和所述排气装置(25)；

检测装置(40)，所述检测装置(40)配置于所述抽吸通路(21)，对与从所述吸入口(33)吸入的所述异物的形状有关的异物信息进行检测，和

控制装置(60)，所述控制装置(60)具有将所述异物信息与所述检查部位相关联并进行存储的存储装置(61)，

所述检测装置(40)具有：

壳体(41)，所述壳体(41)内部具有筒状的捕捉室(42)；

抽吸路径连接口(473)，所述抽吸路径连接口(473)设置于所述捕捉室(42)的侧面，且连接于所述抽吸通路(21)；

过滤器(44)，所述过滤器(44)捕捉流入所述捕捉室(42)的异物；

摄像装置(48)，所述摄像装置(48)拍摄由所述过滤器(44)捕捉到的所述异物的图像，

所述存储装置(61)具有：

过滤器图像存储单元(612)，所述过滤器图像存储单元(612)存储每个所述检查部位的过滤器图像；和

异物图像存储单元(614)，所述异物图像存储单元(614)存储异物图像，

所述控制装置(60)具有：

提取单元(63)，所述提取单元(63)从所述过滤器图像提取所述异物图像；

匹配单元(64)，所述匹配单元(64)将从对应于所述检查部位的所述过滤器图像提取的所述异物图像和从对应于所述检查部位的前一个检查部位的过滤器图像提取的所述异物图像进行对照，将不一致的所述异物图像判断为和所述检查部位对应的所述异物图像。

2.根据权利要求1所述的异物检查装置，其特征在于，所述检测装置(40)具有：

支撑部件(45)，所述支撑部件(45)能够让气体通过，且支撑所述过滤器(44)；

窗(43)，所述窗(43)设置于所述捕捉室。

3.根据权利要求1所述的异物检查装置，其特征在于，所述异物信息包括所述异物的长边尺寸、面积和图像中的至少一个。

4.根据权利要求2所述的异物检查装置，其特征在于，所述异物信息包括所述异物的长边尺寸、面积和图像中的至少一个。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的异物检查装置，其特征在于，还具有臂(13)，所述臂(13)将所述喷嘴(30)相对于所述工件(17)进行相对地移动。

6.根据权利要求5所述的异物检查装置，其特征在于，还具有数值控制装置(62)，所述数值控制装置(62)利用所述吸入口(33)的坐标对所述臂(13)进行控制。

7.根据权利要求6所述的异物检查装置，其特征在于，所述存储装置(61)与所述坐标对应地存储所述异物信息。

8.根据权利要求1所述的异物检查装置，其特征在于，所述存储装置(61)存储与所述检查部位对应的检查部位编号，与所述检查部位编号对应地存储所述异物信息。

9.根据权利要求1所述的异物检查装置，其特征在于，所述控制装置(80)具有计时器(83)，所述计时器(83)测定从抽吸开始时到异物的检测为止的通过时间。

10.根据权利要求9所述的异物检查装置，其特征在于，所述存储装置(61)将从抽吸开始时到经过所述通过时间为止检测出的所述异物信息与所述检查部位相关联并进行存储。