[发明专利]异物检查装置以及异物检查方法

说明书

本发明提供了一种确定残留于工件的异物的位置或形状的异物检查装置。对工件(17)的检查部位的异物进行检查的异物检查装置具有：具有吸入异物的吸入口(33)的喷嘴(30)、排气装置(25)、将喷嘴(30)和排气装置(25)连接的抽吸通路(21)和对与从吸入口(33)吸入的所述异物的形状有关的异物信息进行检测的检测装置(40、73、91)。

技术领域

本发明涉及对残留于工件的异物进行检查的异物检查装置以及异物检查方法。

背景技术

已知有用清洗液对机械部件等的检查对象(工件)进行清洗，用过滤器过滤流出的清洗液、对被捕捉于过滤器上的残留物进行观察的方法。并且，提出了对过滤器上的残留物进行摄像、对获得的数据进行图像处理的残留物测定装置(例如，日本专利特开2011-179987号公报，以下称为“专利文献1”)。

发明内容

专利文献1记载的技术并非是对残留于工件的异物的位置和形状进行检测的技术。

本发明的目的在于提供一种确定(特定)残留于工件的异物的位置或形状的异物检查装置以及异物检查方法。

本发明的第一个方面是对工件的检查部位的异物进行检查的异物检查装置，所述异物检查装置具有：

喷嘴，所述喷嘴具有吸入所述异物的吸入口；

排气装置；

抽吸通路，所述抽吸通路连接所述喷嘴和所述排气装置；以及

检测装置，所述检测装置配置于所述抽吸通路，且对与从所述吸入口吸入的所述异物的形状有关的异物信息进行检测。

本发明的第二个方面是对工件的异物进行检查的异物检查方法，所述异物检查方法为：

使吸入口紧贴于工件的检查部位；

从所述吸入口吸上所述异物；

对与所述异物的形状相关的异物信息进行检测；

将所述异物信息与所述检查部位相关联而进行存储。

发明效果

根据本发明的异物检查装置以及异物检查方法，能够确定残留于工件的异物的位置和形状。

附图说明

图1第一实施方式的异物检查装置的整体结构图；

图2是第一实施方式的喷嘴的扩大截面图；

图3是第一实施方式的检测装置的扩大截面图；

图4是第一实施方式的密封装置的扩大立体图；

图5是第一实施方式的异物检查装置的框图；

图6是第一实施方式的检查方法的流程图；

图7是说明第一实施方式的检查状况的立体图；

图8A是说明第一实施方式的喷嘴的使用方法的部分截面图；

图8B是说明第一实施方式的喷嘴的使用方法的部分截面图；

图9是表示第一实施方式的过滤器图像的示意图；

图10是表示第一实施方式的每个检查部位提取的异物图像的示意图；

图11是第二实施方式的异物检查装置的整体结构图；

图12是第二实施方式的检测装置的扩大立体图；

图13是第二实施方式的异物检查装置的框图；

图14是第二实施方式的检查方法的流程图；