[发明专利]一种石墨烯薄膜的制备方法及含有石墨烯薄膜的装置有效
| 申请号： | 201810663151.3 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110629188B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 田小让;何延如;赵冠超;李立伟;孟原;郭铁 | 申请（专利权）人： | 新奥光伏能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/04;C23C16/513;C01B32/186 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 065001 河北省廊*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯薄膜的制备方法及含有石墨烯薄膜的装置，该制备方法包括：在金属基底上形成钝化层；在钝化层上形成孔洞，使得通过孔洞漏出金属基底；在露出金属基底的孔洞上形成石墨烯薄膜，并且石墨烯薄膜覆盖钝化层。通过在金属基底表面覆盖一层钝化层，然后在钝化层上形成孔洞，实现了对金属基底的选择性钝化处理，使得金属基底具有催化能力的区域面积和数量可控，从而使得石墨烯薄膜的生长速度可控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 薄膜 制备 方法 含有 装置 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/n在金属基底上形成钝化层；/n在所述钝化层上形成孔洞，使得通过所述孔洞漏出所述金属基底；/n在露出所述金属基底的孔洞上形成石墨烯薄膜，并且，所述石墨烯薄膜覆盖所述钝化层。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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