[发明专利]一种基于激光技术的柔性薄膜晶体管及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于激光技术的柔性薄膜晶体管及其制备方法。本发明在柔性衬底基片上增加光学增反射膜层。同时在制备完有源层后，利用飞秒/皮秒激光辐照退火和刻蚀消融实现图形化和器件的独立，增反射膜层能有效回收利用反射激光能量，提高激光能量的使用效率，在低温下高效完成前驱体到氧化物的转变，兼有阻隔水汽、氧对有源层影响的功能，快速低温实现柔性薄膜晶体管制备。有源层和绝缘层均可采用卷对卷或印刷方式制备，工艺简单、快速，而氧化物有源层可以采用飞秒/皮秒激光刻蚀和辐照退火方式实现半导体功能，其操作快速准确，高效率，高度可重复性，获得器件的尺寸较小，器件性能一致性好，有利于节约成本及大面积生产。

主权项

1.一种基于激光技术的柔性薄膜晶体管，其特征在于：所述柔性薄膜晶体管为底栅顶接触结构，从下往上依次为基底、增反射膜层、栅极、绝缘层、有源层、源漏电极；所述增反射膜层为高低折射率材料重复层叠构成具有特殊结构和反射功能的介质层；对有源层进行激光辐照时，有源层底下的增反射膜层反射激光能量，使透过有源层的激光能量再次返回有源层，促进有源层向半导体性能转化，同时避免高能光子对柔性衬底的渗透损伤；所述柔性薄膜晶体管利用飞秒或皮秒激光对有源层进行退火或同步地刻蚀实现图形化，形成独立薄膜阵列；所述基底为柔性介质衬底，所述栅极为图形化薄膜，所述绝缘层为聚合物介质层，所述有源层为金属氧化物薄膜，所述源漏电极包括源极和漏极。