[发明专利]一种实现固体片表面镓基液态金属铺展的方法有效
申请号: | 201810646929.X | 申请日: | 2018-06-22 |
公开(公告)号: | CN108754422B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 赵银女;闫金良;闫慧龙;李宏光 | 申请(专利权)人: | 鲁东大学 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 264025 山东省烟台*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: |
本发明提供一种实现固体片表面镓基液态金属铺展的方法,属于电子器件散热技术领域。在不浸润的固体片表面沉积一层连续的Ga |
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搜索关键词: | 一种 实现 固体 表面 液态 金属 铺展 方法 | ||
【主权项】:
1.一种实现固体片表面镓基液态金属铺展的方法,其特征是用真空磁控非反应溅射镀膜在固体片表面制备Ga2O3薄膜,在H2‑Ar混合气体中退火Ga2O3薄膜形成从里往外的Ga2O3层/Ga‑O混合层/金属Ga层的复合结构薄膜,镓基液态金属液滴沿复合结构薄膜表面扩展并铺展在固体片表面。
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