[发明专利]降低母板翘曲的成膜方法有效
| 申请号： | 201810622176.9 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108828844B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 胡小波 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;王中华 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种降低母板翘曲的成膜方法。所述降低母板翘曲的成膜方法包括如下步骤：提供一母板，所述母板包括阵列排布的多个面板区以及位于各个相邻的面板区之间的间隔区；在所述间隔区上形成分隔挡墙；在所述母板上沉积金属薄膜，沉积时所述金属薄膜在所述分隔挡墙处自然断开，使得所述金属薄膜包括分别对应所述多个面板区的多个金属独立区块，通过在成膜之前先在间隔区内形成分隔挡墙，以使得成膜过程中金属薄膜被分隔挡墙分隔成多个独立区块，从而释放金属薄膜的应力，降低母板翘曲，减少母板在移位过程中的破片风险。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 母板 方法 | ||
【主权项】：
1.一种降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供一母板(10)，所述母板(10)包括阵列排布的多个面板区(11)以及位于各个相邻的面板区(11)之间的间隔区(12)；步骤S2、在所述间隔区(12)上形成分隔挡墙(20)；步骤S3、在所述母板(10)上沉积金属薄膜，沉积时所述金属薄膜在所述分隔挡墙(20)处自然断开，使得所述金属薄膜包括分别对应所述多个面板区(11)的多个独立区块(31)。
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