[发明专利]降低母板翘曲的成膜方法有效
| 申请号： | 201810622176.9 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN108828844B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 胡小波 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;王中华 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 降低 母板 方法 | ||
1.一种降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1、提供一母板（10），所述母板（10）包括阵列排布的多个面板区（11）以及位于各个相邻的面板区（11）之间的间隔区（12）；
步骤S2、在所述间隔区（12）上形成分隔挡墙（20）；
步骤S3、在所述母板（10）上沉积金属薄膜，沉积时所述金属薄膜在所述分隔挡墙（20）处自然断开，使得所述金属薄膜包括分别对应所述多个面板区（11）的多个独立区块（31）；
所述分隔挡墙（20）的锥角大于80°；
所述金属薄膜的厚度小于所述分隔挡墙（20）的厚度。
2.如权利要求1所述的降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，所述分隔挡墙（20）的宽度为0.5cm~2cm，厚度为10μm ~100μm。
3.如权利要求1所述的降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，所述分隔挡墙（20）的材料为光固化材料或热固化材料。
4.如权利要求1所述的降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，所述分隔挡墙（20）的材料为色阻材料。
5.如权利要求1所述的降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，所述步骤S2中通过狭缝涂布或丝网印刷工艺形成所述分隔挡墙（20）。
6.如权利要求1所述的降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，所述金属薄膜的材料为铜。
7.如权利要求1所述的降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，所述金属薄膜的厚度大于或等于8000埃米。
8.如权利要求1所述的降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，所述步骤S3中采用溅射镀膜工艺沉积所述金属薄膜。
9.如权利要求1所述的降低母板翘曲的成膜方法，其特征在于，还包括：
步骤S4、提供一机械手，所述机械手包括多个吸盘，所述机械手通过所述吸盘吸附母板（10）带动对所述母板（10）进行移位。
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