[发明专利]具有掩埋光屏蔽件和垂直栅极的图像传感器

摘要

本发明涉及具有掩埋光屏蔽件和垂直栅极的图像传感器。本发明公开了一种图像传感器中的像素(700)，该像素可包括被设置在一个基板中的光电探测器(708)和存储区域(712)，或者可包括被设置在一个基板(738)中的光电探测器和在另一基板(740)中的存储区域。掩埋光屏蔽件(710)被设置在光电探测器与存储区域之间。诸如浮接扩散区域的感测区域(716)可与存储区域相邻，其中掩埋光屏蔽件被设置在光电探测器与存储区域和感测区域之间。当光电探测器和存储区域被设置在独立基板中时，垂直栅极(714)可被形成为穿过掩埋光屏蔽件并且用于启动来自光电探测器和存储区域的电荷的转移。与垂直栅极相邻或者围绕该垂直栅极的转移通道(744)为电荷提供通道，以从光电探测器转移到存储区域。

主权项

1.一种图像传感器，包括：第一基板层，包括：光电探测器，所述光电探测器被设置在所述第一基板层的第一表面上；第二基板层，包括：第一存储区域，所述第一存储区域被设置成与所述第二基板层的第二表面相邻，所述第二表面与所述第一表面相对；第二存储区域，所述第二存储区域被设置在所述第二基板层中；以及掩埋光屏蔽件，所述掩埋光屏蔽件被设置在所述第一基板层和所述第二基板层之间，其中所述掩埋光屏蔽件在所述第一存储区域和所述第二存储区域之上。