[发明专利]晶圆夹持器组件、系统及其用途

摘要

本申请公开了晶圆夹持器组件、系统及其用途。晶圆夹持器组件设置有至少一个晶圆夹持器(50)，该晶圆夹持器包括基座(51)和桥接元件(52)；真空装置，其包括用于施加负压的软管(53)和至少一个抽吸区域(54)，被配置用于借助于所施加的负压保持晶圆(10)；框架(60)，其联接到桥接元件(52)。框架(60)设置有被配置用于接触晶圆舟的定位装置(57)，以便将晶圆定位在距晶圆舟的预定距离处。在框架(60)与桥接元件(52)或包括抽吸设备(54)的保持板(70)之间存在弹性联接件(56)，如果存在这样的保持板的话。

主权项

1.一种设置有至少一个晶圆夹持器的晶圆夹持器组件，包括：‑基座；‑桥接元件，所述桥接元件从所述基座悬挂；‑框架，所述框架联接到所述桥接元件并且设置有定位装置，所述定位装置被配置用于接触晶圆舟，以便将所述框架定位在距所述晶圆舟的预定距离处；‑真空装置，所述真空装置包括用于施加负压的软管和至少一个抽吸设备，被配置用于借助于所施加的负压来保持晶圆；其中，在所述框架和所述桥接元件之间或者在所述框架和所述至少一个抽吸设备之间存在弹性联接件。