[发明专利]用于制造有机发光二极管面板的精细金属掩模在审
| 申请号： | 201810558151.7 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN110551971A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 朱祥玄;柳明勋;李志原;李在训 | 申请（专利权）人： | 京畿大学校产学协力团;丰元精密株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11579 北京锺维联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国京畿道水原市灵通*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于制造有机发光二极管面板的精细金属掩模，提供如下的精细金属掩模，即，在掩模基材的表面赋予基于纳米屏蔽层的超疏液特性，以减少有机物的附着，并易于清洗蒸镀的有机物。本发明的精细金属掩模可包括：掩模基材；以及纳米屏蔽层，在上述掩模基材的表面，通过在包括蒸镀面的区域涂敷超疏液物质来形成。并且，本发明的精细金属掩模中，掩模基材在表面中的包括蒸镀面的区域中形成有凹凸图案。 | ||
| 搜索关键词： | 精细金属掩模 基材 掩模 蒸镀 有机物 屏蔽层 有机发光二极管面板 凹凸图案 疏液特性 附着 疏液 涂敷 清洗 赋予 制造 | ||
【主权项】：
1.一种精细金属掩模，设有蒸镀孔，其特征在于，包括：/n掩模基材；以及/n纳米屏蔽层，在上述掩模基材的表面，通过在包括蒸镀面的区域涂敷超疏液物质来形成。/n
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