[发明专利]双面电极及其图案化方法有效
| 申请号： | 201810541243.4 | 申请日： | 2018-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110554789B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 萧仲钦;练修成;蔡家扬 | 申请（专利权）人： | 英属维京群岛商天材创新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双;李岩 |
| 地址： | 维尔京群岛*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种双面电极的图案化方法，包括：提供基板，基板具有相对两表面，该两表面上分别设有第一感光层与第二感光层；设置由金属纳米线所组成的第一金属纳米线层于第一感光层上，设置由金属纳米线所组成的第二金属纳米线层于第二感光层上；以及进行双面黄光微影步骤，包括：将第一感光层及第二感光层进行曝光以定义出去除区与保留区；以及使用显影液将位于去除区的第一感光层与金属纳米线以及位于去除区的第二感光层与金属纳米线去除，以将第一金属纳米线层与第二金属纳米线层图案化而分别形成设置于该两表面上的第一电极及第二电极。更提出一种双面电极。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 电极 及其 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双面电极的图案化方法，其特征在于，包括：/n提供一基板，该基板具有相对两表面，该两表面上分别设有一第一感光层与一第二感光层；/n设置由金属纳米线所组成的一第一金属纳米线层于该第一感光层上，设置由金属纳米线所组成的一第二金属纳米线层于该第二感光层上；以及/n进行一双面黄光微影步骤，包括：/n将该第一感光层及该第二感光层进行曝光以定义出一去除区与一保留区；以及/n使用显影液将位于该去除区的该第一感光层与该金属纳米线以及位于该去除区的该第二感光层与该金属纳米线去除，以将该第一金属纳米线层与该第二金属纳米线层图案化而分别形成设置于该两表面上的一第一电极及一第二电极。/n
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