[发明专利]抛光垫的制备方法有效
| 申请号： | 201810528347.1 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN108747870B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 朱顺全;吴晓茜;张季平;车丽媛 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B29C39/38 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430057 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光垫的制备方法，解决了现有抛光制备过程中散热不均导致抛光垫密度不均、影响研磨稳定性的问题。技术方案包括在模具中设置含有或通入冷却剂的冷却腔，然后将原料浇注在模具中得到第一垫层；由第一垫层中取出含有冷却剂的冷却腔，在取出冷却腔后形成的孔洞中填入与所述孔洞相同形状的第二垫层，使第一垫层与第二垫层经共同固化或粘接得到抛光垫。本发明工艺简单、控制简便、生产过程中有效匀匀释放温度，制备的抛光垫密度均匀、研磨稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光垫 垫层 冷却腔 制备 冷却剂 孔洞 研磨 模具 取出 密度均匀 生产过程 制备过程 抛光 散热 浇注 填入 粘接 固化 释放 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、在模具中设置至少一个含有或通入冷却剂的冷却腔，然后将原料浇注在模具中得到第一垫层；步骤二、由第一垫层中取出含有冷却剂的冷却腔，在取出冷却腔后形成的孔洞中填入与所述孔洞相同形状的第二垫层，使第一垫层与第二垫层经共同固化或粘接得到抛光层，所述抛光垫至少含有所述抛光层。
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