[发明专利]抛光垫的制备方法有效
申请号: | 201810528347.1 | 申请日: | 2018-05-28 |
公开(公告)号: | CN108747870B | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 朱顺全;吴晓茜;张季平;车丽媛 | 申请(专利权)人: | 湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司 |
主分类号: | B24D18/00 | 分类号: | B24D18/00;B29C39/38 |
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地址: | 430057 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抛光垫 垫层 冷却腔 制备 冷却剂 孔洞 研磨 模具 取出 密度均匀 生产过程 制备过程 抛光 散热 浇注 填入 粘接 固化 释放 | ||
1.一种抛光垫的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一、在模具中设置至少一个含有或通入冷却剂的冷却腔,然后将原料浇注在模具中得到第一垫层;
步骤二、由第一垫层中取出含有冷却剂的冷却腔,在取出冷却腔后形成的孔洞中填入与所述孔洞相同形状的第二垫层,使第一垫层与第二垫层经共同固化或粘接得到抛光层,所述抛光垫至少含有所述抛光层。
2.根据权利要求1所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,所述步骤二中,冷却腔的取出时机为:在第一垫层浇注凝胶后、或凝胶后半固化过程中、或固化后。
3.根据权利要求1所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,所述步骤二中,填入的第二垫层的材料与第一垫层全部相同,或者多个第二垫层中至少一个为能形成窗口结构的材料。
4.根据权利要求3所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,第一垫层与第二垫层均为聚氨酯材质,合成聚氨酯的原料中,预聚物中异氰酸酯封端的反应产物均包含6.5~8.5重量%的未反应的NCO。
5.根据权利要求1所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,所述冷却腔为管状;当冷却腔数量为一时,则位于模具的中心位置;当冷却腔数量为两个或以上时,则以模具的中心作为圆心,绕其等分均匀设置,或者一个冷却腔位于模具的中心位置,其余冷却腔以模具的中心作为圆心等分均匀设置,多个冷却腔的截面总面积对应计算得到的所述冷却腔的平均直径d与抛光层的直径D之比为0.02~0.05: 1,所述冷却腔的平均直径d为多个冷却腔的圆形截面的面积之和对应计算圆形的平均直径。
6.根据权利要求5所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,当一个冷却腔位于模具的中心位置,其余冷却腔以模具的中心作为圆心等分均匀设置时,其余冷却腔的管径与模具中心位置冷却腔的管径的比值为0.25~0.5,制得的抛光垫的直径为0.8~1.0m,密度为0.95~1.1 g/cm3。
7.根据权利要求5或6所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,冷却腔内预置冷却介质,所述冷却介质可以为固态、液态或气态冷却剂。
8.根据权利要求7所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,所述步骤一中,
每个冷却腔中所述冷却介质的温度T满足下式要求:
公式(1):T≤100+30
其中,冷却腔到抛光层的中心的距离为L、抛光层的直径为D,T的单位为℃。
9.根据权利要求8所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,冷却介质的温度T还满足下式要求:
公式(2):T≤1500;
其中,多个冷却腔的圆形截面的面积之和对应计算圆形的平均直径得到所述冷却腔的平均直径d,抛光层的直径D, T的单位为℃。
10.根据权利要求1所述的抛光垫的制备方法,其特征在于,所述冷却腔的外壁涂布有润滑涂层。
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