[发明专利]触控显示屏的制作方法有效
申请号: | 201810519583.7 | 申请日: | 2018-05-28 |
公开(公告)号: | CN108807470B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 冯校亮 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;G06F3/041 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种触控显示屏的制作方法,在一基板上依次形成薄膜晶体管层、OLED显示层以及薄膜封装层,在所述薄膜封装层上依次形成第一绝缘层、桥接层、第二绝缘层、触控电极层、以及保护层;采用多段式穿透率的掩膜板对所述第一绝缘层和所述第二绝缘层进行同一光罩制程,使所述第一绝缘层和所述第二绝缘层图案化。有益效果:所述制作方法减少了光罩的数量,进而减少工艺制程步骤,降低制造成本;同时,工艺制程步骤的减少,也降低了与触控层相连接的引线暴露在空气中的时间,降低其被氧化的风险。 | ||
搜索关键词: | 显示屏 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种触控显示屏的制作方法,其特征在于,包括:步骤S20,在薄膜封装层上沉积第一绝缘层;步骤S30,在所述第一绝缘层表面形成桥接层;步骤S40,在所述桥接层上沉积第二绝缘层;步骤S50,使用光罩对所述第二绝缘层实施光罩制程,以使得所述第一绝缘层和所述第二绝缘层图案化,以及在所述第二绝缘层中形成第一接触孔;步骤S60,在所述第二绝缘层上形成触控电极层;步骤S70,在所述触控电极层上形成保护层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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