[发明专利]压力传感器制备方法及其制备的压力传感器有效
| 申请号： | 201810490183.8 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108896215B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁倬;张薇;孙凌沁 | 申请（专利权）人： | 福建师范大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 贾满意 |
| 地址： | 350108 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请提供一种压力传感器的制备方法，包括：S110，提供一弹性薄膜和一还原氧化石墨烯薄膜；S120，沿着第一方向和第二方向拉伸所述弹性薄膜，使得所述弹性薄膜在所述第一方向和所述第二方向伸长；S130，将所述还原氧化石墨烯薄膜转移至在所述第一方向和所述第二方向伸长后的所述弹性薄膜；S140，释放在所述第一方向和所述第二方向伸长后的所述弹性薄膜，使得伸长后的所述弹性薄膜收缩，使所述还原氧化石墨烯薄膜产生褶皱结构。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 制备 方法 及其 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：S110，提供一弹性薄膜(100)和一还原氧化石墨烯薄膜(200)；S120，沿着第一方向和第二方向拉伸所述弹性薄膜(100)，使得所述弹性薄膜(100)在所述第一方向和所述第二方向伸长；S130，将所述还原氧化石墨烯薄膜(200)转移至在所述第一方向和所述第二方向伸长后的所述弹性薄膜(100)；以及S140，释放在所述第一方向和所述第二方向伸长后的所述弹性薄膜(100)，使得伸长后的所述弹性薄膜(100)收缩，使所述还原氧化石墨烯薄膜(200)产生褶皱结构。
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