[发明专利]切削装置有效
申请号: | 201810435506.3 | 申请日: | 2018-05-09 |
公开(公告)号: | CN108858834B | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 内田文雄;津野贵彦;宫川沙树 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供切削装置,在切削加工中对被加工物上作为检测对象的崩边或裂纹进行检测。该切削装置利用切削刀具(43)对保持工作台所保持的被加工物进行切削,该切削装置构成为具有:弹性波检测传感器(71),其检测切削刀具对被加工物进行切削时所产生的弹性波;以及分析单元(76),其按照采样时间的间隔对由弹性波检测传感器所检测的弹性波的连续的时间轴波形进行切取而进行频率分析,采样时间被设定成比切削刀具通过检查对象的崩边尺寸或裂纹尺寸所需的时间短。 | ||
搜索关键词: | 切削 装置 | ||
【主权项】:
1.一种切削装置,其具有:保持工作台,其对被加工物进行保持;切削单元,其具有用于对保持在该保持工作台上的被加工物进行切削的切削刀具;切削进给单元,其使该保持工作台和该切削单元在切削进给方向上相对地移动;分度进给单元,其使该保持工作台和该切削单元在与切削进给方向垂直的分度进给方向上相对地移动;以及控制单元,其对该切削装置进行控制,该切削装置的特征在于,其具有:弹性波检测传感器,其配设于该切削单元或该保持工作台,检测该切削刀具对被加工物进行切削时所产生的弹性波;以及分析单元,其按照采样时间T的间隔对该弹性波检测传感器所检测的对被加工物进行切削加工时的弹性波的连续的时间轴波形进行切取而进行频率分析,当将想要检测的可能产生于切削后的切削槽的崩边、裂纹尺寸设为W[μm]、将该切削进给单元的进给速度设为S[mm/秒]时,该采样时间T被设定为T≤W/(S×1000)[秒],其中,所述崩边、裂纹尺寸是切削进给方向上的尺寸。
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