[发明专利]一种用于扫描电子显微镜测定的珠光颜料截面样品的制备方法及测定方法有效
| 申请号： | 201810415355.5 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN109030530B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 刘紫微;王焱;张积梅;林初城;华佳捷;王墉哲;姜彩芬;曾毅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于扫描电子显微镜测定的珠光颜料截面样品的制备方法及测定方法，所述制备方法包括：将液态碳导电胶和珠光颜料混合并涂覆在硅片一侧表面，干燥后得到固定有珠光颜料涂覆层的初始样品，所述珠光颜料至少包覆一层连续膜层且膜层厚度在2 nm以上；对所得初始样品进行离子束截面抛光，得到所述珠光颜料截面样品，所述离子束截面抛光的参数包括：离子束加速电压为3～7 kV；样品抛光时间可为120～480分钟；电流为1.5～3mA。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 电子显微镜 测定 珠光颜料 截面 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用离子束截面抛光技术制备用于扫描电子显微镜测定的珠光颜料截面样品的方法，其特征在于，包括：将液态碳导电胶和珠光颜料混合并涂覆在硅片一侧表面，干燥后得到固定有珠光颜料涂覆层的初始样品，所述珠光颜料至少包覆一层连续膜层且膜层厚度在2 nm以上；对所得初始样品进行离子束截面抛光，得到所述珠光颜料截面样品，所述离子束截面抛光的参数包括：离子束加速电压为3～7 kV；样品抛光时间可为120～480分钟；电流为1.5～3mA。
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