[发明专利]集成差分式角传感器的扫描微镜

摘要

本发明公开了一种集成差分式角传感器的电磁驱动式扫描微镜，包括集成了电磁驱动器与角传感器的芯片和紧贴在其上面的硅基MEMS反射镜面。所述芯片由中心镜板、扭转梁和支撑框架构成。为了克服传统硅基MEMS扫描微镜镜面尺寸小和低频器件可靠性差两方面缺陷，本发明采用柔性的FR4或铝作为基底材料；为了提升电磁角传感器的输出信号品质，本发明集成了差分式角传感器，有效减小了非线性误差和共模噪声，并提高了抗干扰能力；为了增大电磁驱动器的驱动能力和角传感器的灵敏度，驱动线圈与传感线圈均采用双层走线的布线方式。本发明结构简单新颖、容易制作、成本低廉且可批量生产，在微型光谱仪、光学扫描系统和生物医学成像等领域有着广泛的应用。

主权项

1.一种集成差分式角传感器的扫描微镜，包括芯片、MEMS反射镜面、电磁驱动器和角传感器；其特征在于：所述芯片包括中心镜板、扭转梁、支撑框架；中心镜板通过一对扭转梁悬置于支撑框架中；所述电磁驱动器的驱动线圈位于中心镜板的表面；所述角传感器为差分式结构，由位于中心镜板上偏离扭转轴的两侧角传感线圈构成，每一侧的角传感线圈均在中心镜板的表面；所述MEMS反射镜面紧贴在集成了电磁驱动器与角传感器的芯片的中心镜板。