[发明专利]集成差分式角传感器的扫描微镜

权利要求书

1.一种集成差分式角传感器的扫描微镜，包括芯片、MEMS反射镜面、电磁驱动器和角传感器；其特征在于：

所述芯片包括中心镜板、扭转梁、支撑框架；中心镜板通过一对扭转梁悬置于支撑框架中；

所述电磁驱动器的驱动线圈位于中心镜板的表面；

所述角传感器为差分式结构，由位于中心镜板上偏离扭转轴的两侧角传感线圈构成，每一侧的角传感线圈均在中心镜板的表面；

所述MEMS反射镜面紧贴在集成了电磁驱动器与角传感器的芯片的中心镜板；所述芯片以FR4或铝为基底材料，利用PCB技术一体化加工而成。

2.根据权利要求1所述的集成差分式角传感器的扫描微镜，其特征在于：所述驱动线圈与差分式角传感线圈均采用双层走线方式布于中心镜板正反面，两层线圈通过通孔连接，并经由扭转梁引出与焊盘连接。

3.根据权利要求1所述的集成差分式角传感器的扫描微镜，其特征在于：所述驱动线圈与角传感线圈均为渐开式双层多匝铜线圈，利用PCB技术加工而成。

4.根据权利要求3所述的集成差分式角传感器的扫描微镜，其特征在于：所述中心镜板与硅基MEMS反射镜面均为长方体结构，渐开式双层多匝铜线圈为长方形。

5.根据权利要求1所述的集成差分式角传感器的扫描微镜，其特征在于：所述中心镜板位于整个芯片的中间位置。

6.根据权利要求1-5之任一项所述的集成差分式角传感器的扫描微镜，其特征在于：所述MEMS反射镜面以单晶硅片为基底材料，利用MEMS技术在其上溅射铝层后直接划片而成；然后，利用环氧树脂将其粘贴于所述中心镜板上。