[发明专利]ITO薄膜的制作方法有效
| 申请号： | 201810374609.3 | 申请日： | 2018-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN108385073B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 何海山;刘力明;黄伟东;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ITO薄膜的制作方法，包括：将靶材放置于成膜腔室内与成膜板相对的背板上；对成膜腔室进行抽气处理；向成膜腔室内通入工艺气体，以使成膜腔室内的气体压强为预设压强；为所述背板提供直流电；停止向所述成膜腔室内通入所述工艺气体，并对所述成膜腔室进行二次抽气处理。在低温条件下，对成膜腔室内通入工艺气体以清除隔离层表面的粒子，使得薄膜在成膜板上的附着性提升。一次抽气处理使得成膜腔室内部达到高真空状态，保证成膜腔室内的洁净度，改善了薄膜的致密性；二次抽气处理去除了薄膜表面异物，降低了因异物导致后续制程缺陷的超标率，从而获得符合更高参数要求的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | ito 薄膜 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种ITO薄膜的制作方法，其特征在于，包括：将靶材放置于成膜腔室内与成膜板相对的背板上；对成膜腔室进行抽气处理；向成膜腔室内通入工艺气体，以使成膜腔室内的气体压强为预设压强；为所述背板提供直流电；停止向所述成膜腔室内通入所述工艺气体，并对所述成膜腔室进行二次抽气处理。
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