[发明专利]物理量传感器及其制造方法和设备、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201810367516.8 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN108871306A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 古畑诚;金本启 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5719 | 分类号： | G01C19/5719;G01C19/5733;G01C19/5769 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及物理量传感器及其制造方法和设备、电子设备以及移动体。物理量传感器具有驱动部和将上述驱动部支承成能够在第一方向上位移的驱动弹簧部，上述驱动弹簧部形成为蛇行形状，具有在与上述第一方向交叉的第二方向上延伸的多个梁部，上述多个梁部中至少一个梁部具有相对于上述驱动弹簧部的其他部分而言第三方向的厚度薄的薄壁部，该第三方向与上述第一方向以及上述第二方向交叉。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量传感器 驱动弹簧 梁部 方法和设备 电子设备 方向交叉 移动体 蛇行 驱动 向上位移 薄壁部 支承 制造 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：驱动部；以及弹簧部，支承所述驱动部，所述弹簧部包括：多个梁部，长边方向沿着与所述驱动部和所述弹簧部所排列的第一方向正交的第二方向；以及折回部，将所述多个梁部中的相邻的两个梁部的同一侧的端部彼此连接，所述多个梁部中的至少一个梁部包括与其他梁部相比沿着第三方向的厚度薄的薄壁部，所述第三方向与所述第一方向以及所述第二方向正交。
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