[发明专利]物理量传感器及其制造方法和设备、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：

驱动部；以及

弹簧部，支承所述驱动部，

所述弹簧部包括：

多个梁部，长边方向沿着与所述驱动部和所述弹簧部所排列的第一方向正交的第二方向；以及

折回部，将所述多个梁部中的相邻的两个梁部的同一侧的端部彼此连接，

所述多个梁部中的至少一个梁部包括与其他梁部相比沿着第三方向的厚度薄的薄壁部，所述第三方向与所述第一方向以及所述第二方向正交。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述薄壁部是通过在所述至少一个梁部的所述第三方向的一侧形成凹部而设置的。

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

在从所述第二方向俯视观察下，所述多个梁部的截面形状形成为长条形状，

并且，所述长条形状的长边相对于所述第三方向倾斜。

4.根据权利要求3所述的物理量传感器，其特征在于，

所述至少一个梁部是位于所述长边所倾斜的方向的前端侧的梁部。

5.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述薄壁部设置于所述多个梁部中的至少两个以上梁部。

6.根据权利要求5所述的物理量传感器，其特征在于，

设置于所述至少两个以上梁部的所述薄壁部的所述厚度彼此相等。

7.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述梁部的沿着所述第一方向的宽度比相邻的两个所述梁部的分离距离小。

8.一种物理量传感器的制造方法，其特征在于，包括：

使用干蚀刻对基板形成图案而形成元件部的工序，其中，所述元件部包括：驱动部；以及弹簧部，支承所述驱动部，所述弹簧部包括：多个梁部，长边方向沿着与所述驱动部和所述弹簧部所排列的第一方向正交的第二方向；以及折回部，将所述多个梁部中的相邻的两个梁部的同一侧的端部彼此连接；以及

在所述多个梁部中的至少一个梁部形成与其他梁部相比沿着第三方向的厚度薄的薄壁部的工序，所述第三方向与所述第一方向以及所述第二方向正交。

9.根据权利要求8所述的物理量传感器的制造方法，其特征在于，

在形成所述薄壁部的工序中，使用所述干蚀刻隔着掩模对所述弹簧部进行加工而形成所述薄壁部。

10.一种物理量传感器设备，其特征在于，包括：

权利要求1所述的物理量传感器；以及

与所述物理量传感器电连接的电路元件。

11.一种电子设备，其特征在于，

包括权利要求1所述的物理量传感器。

12.一种移动体，其特征在于，包括：

权利要求1所述的物理量传感器；以及

基于从物理量传感器输出的检测信号来控制姿势的姿势控制装置。