[发明专利]物理量传感器及其制造方法和设备、电子设备以及移动体

说明书

本发明涉及物理量传感器及其制造方法和设备、电子设备以及移动体。物理量传感器具有驱动部和将上述驱动部支承成能够在第一方向上位移的驱动弹簧部，上述驱动弹簧部形成为蛇行形状，具有在与上述第一方向交叉的第二方向上延伸的多个梁部，上述多个梁部中至少一个梁部具有相对于上述驱动弹簧部的其他部分而言第三方向的厚度薄的薄壁部，该第三方向与上述第一方向以及上述第二方向交叉。

技术领域

本发明涉及物理量传感器、物理量传感器的制造方法、物理量传感器设备、电子设备以及移动体。

背景技术

以往，作为陀螺仪传感器(角速度传感器)，已知有专利文献1所记载的结构。该专利文献1所记载的陀螺仪传感器具有：能够在X轴方向上振动的框架；配置于框架的内侧的检验质量体；一个横梁，连结检验质量体和框架，以使检验质量体能够相对于框架在Y轴方向上位移；以及与检验质量体相对配置的感应电极。

在这种陀螺仪传感器中，在使框架与检验质量体一起在X轴方向上振动的状态(以下将该状态称为“驱动振动模式”)下施加绕Z轴(与X轴以及Y轴这两轴正交的轴)的角速度时，通过科里奥利力使检验质量体在Y轴方向上位移，检验质量体与感应电极之间的静电电容变化。

因此，能够基于静电电容的变化来检测角速度。

另外，在专利文献1的陀螺仪传感器中，指出了如下的问题：当横梁的截面形状像平行四边形那样地相对于矩形产生偏移时，在驱动振动模式下，框架以及检验质量体不仅在X轴方向上振动还在Y轴方向上振动(即，产生Y轴方向的无用振动(正交振动))，角速度的检测特性降低。

因此，在专利文献1中，提出了如下方案：通过激光照射对横梁的表面进行激光烧蚀(laser ablating)加工(除去)，或者，在横梁上堆积(deposition)材料，由此降低无用振动(正交振动)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2002-540406号公报

但是，存在如下问题：对横梁的表面进行激光烧蚀(laser ablating)，通过在横梁上堆积(deposition)材料而引起的无用振动(正交振动)的降低不充分。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够降低无用振动的物理量传感器、物理量传感器的制造方法、物理量传感器设备、电子设备以及移动体。

这样的目的可通过下述的本发明来实现。

本发明的物理量传感器的特征在于，包括：驱动部；以及支承上述驱动部的弹簧部，上述弹簧部包括：多个梁部，长边方向沿着与上述驱动部和弹簧部所排列的第一方向正交的第二方向；以及折回部，将上述多个梁部中的相邻的两个梁部的同一侧的端部彼此连接，上述多个梁部中的至少一个梁部包括与其他梁部相比沿着第三方向的厚度薄的薄壁部，所述第三方向与上述第一方向以及上述第二方向正交。

这样一来，通过在弹簧部设置薄壁部，弹簧部的第三方向的振动成分减少，能够降低驱动部向第一方向以外的位移。

即，能够降低驱动部的无用振动(正交振动)。

在本发明的物理量传感器中，优选的是，上述薄壁部是通过在上述至少一个梁部的上述第三方向的一侧形成凹部而设置的。

由此，薄壁部的形成容易。

在本发明的物理量传感器中，优选的是，在从上述第二方向俯视观察下，上述多个梁部的截面形状形成为长条形状，并且，上述长条形状的长边相对于上述第三方向倾斜。

这样的截面形状是由于加工误差、加工装置的特性等而容易形成的形状。

另外，在这样的截面形状中，弹簧部容易包括第三方向的振动成分，因此本发明的效果更为显著。