[发明专利]磁盘用基板的制造方法及在磁盘用基板的制造中使用的研磨垫有效
| 申请号： | 201810357734.3 | 申请日： | 2014-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN108564969B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 久原巧己;长大介;山城祐治 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 为了降低玻璃基板的主表面的波长为50～200μm的微小起伏的均方根粗糙度Rq，磁盘用基板的制造方法包括研磨处理，其中，利用一对研磨垫将基板夹持，向该研磨垫与基板之间供给包含研磨磨粒的浆料，使研磨垫与基板进行相对滑动，从而对基板的两个主表面进行研磨。上述研磨垫具有发泡树脂层，该发泡树脂层在表面具有2个以上的开口。由上述研磨垫的表面的拍摄图像得到上述研磨垫的表面的立体形状的信息，由上述立体形状的信息求出上述研磨垫的表面的算术平均粗糙度Ra时，上述Ra为0.5μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨垫 基板 磁盘用 发泡树脂层 立体形状 主表面 算术平均粗糙度 均方根粗糙度 制造 玻璃基板 基板夹持 拍摄图像 相对滑动 研磨处理 研磨磨粒 研磨 对基板 波长 浆料 开口 | ||
【主权项】：
1.一种磁盘用基板的制造方法，其是磁盘用基板的制造方法，其特征在于，该制造方法包括研磨处理，其中，利用一对研磨垫将基板夹持，向所述研磨垫与所述基板之间供给包含研磨磨粒的浆料，使所述研磨垫与所述基板进行相对滑动，从而对所述基板的两个主表面进行研磨，所述研磨垫具有发泡聚氨酯的发泡树脂层，该发泡聚氨酯的发泡树脂层在表面具有2个以上的开口，由所述研磨垫的表面的拍摄图像得到使1个像素为0.37μm×0.37μm的矩形面的情况下的1600×1200个像素的矩形面的立体形状的信息作为所述研磨垫的表面的立体形状的信息，由所述立体形状的信息求出所述研磨垫的表面的算术平均粗糙度Ra时，所述Ra为0.5μm以下，所述研磨垫的表面的拍摄图像是通过下述方法并将矩形区域作为拍摄的视野而得到的拍摄图像，所述方法为：使用拍摄单元，使焦点对准于所述研磨垫的表面的最高位置，从该处沿高度方向按照每隔5μm的方式降低焦点，同时只要焦点对准就反复进行拍摄。
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