[发明专利]一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法有效
| 申请号： | 201810338811.0 | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN108658036B | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 陈新;陈云;施达创;陈桪;刘强;高健;崔成强 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 资凯亮;单蕴倩 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及微纳制造技术领域，特别是一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法，其包括如下步骤：步骤a：对待加工工件的加工面进行光刻加工显影；步骤b：在待加工工件的背面粘贴掩膜板；步骤c：对掩膜板进行持续冷却降温；步骤d：将待加工工件放入湿法刻蚀装置中，并加入刻蚀液，开始进行刻蚀。步骤e：取出待加工工件，将掩膜板和待加工工件分离，最终获得具有目标刻蚀结构工件。上述加工方法在待加工工件上需要加工的图形区域与需要保留的区域形成了温度差，需要加工的图形区域温度较高，故刻蚀速度较快；而需要保留的区域温度较低，故刻蚀速度较慢，从而可加工出深宽比更高的精度更高的微孔或槽。 | ||
| 搜索关键词： | 待加工工件 加工 掩膜板 刻蚀 湿法刻蚀 图形区域 微结构 湿法刻蚀装置 加工工件 刻蚀结构 冷却降温 区域形成 加工面 刻蚀液 深宽比 温度差 保留 放入 光刻 微孔 显影 粘贴 背面 取出 制造 | ||
【主权项】：
1.一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤a：对待加工工件的加工面进行光刻加工，使其显影后，所述待加工工件的加工面需要加工的图形区域材料露出，不需要加工的图形区域表面覆盖光刻胶层；步骤b：在待加工工件的背面，即与所述加工面相对的一侧的表面，粘贴掩膜板，所述掩膜板上的加工目标图形与所述加工面上需要加工的图形区域形状相同且对齐；步骤c：对所述待加工工件背面粘贴的掩膜板进行持续冷却降温；步骤d：将持续降温冷却的掩膜板和待加工工件放入湿法刻蚀装置中，并在待加工工件的加工面加入刻蚀液，开始进行刻蚀；步骤e：设置刻蚀时间，经过设定时间后取出掩膜板和待加工工件，中止刻蚀反应，并将所述掩膜板和所述待加工工件分离，最终获得具有目标刻蚀结构工件。
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