[发明专利]一种耐热性光刻胶组合物有效
| 申请号： | 201810301085.5 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN108535960B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 康文兵 | 申请（专利权）人： | 倍晶新材料（山东）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/008;G03F7/038 |
| 代理公司： | 上海融力天闻律师事务所 31349 | 代理人： | 张一超 |
| 地址： | 271000 山东省泰安市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种耐热性光刻胶组合物，按重量份数计，包括：a)基础光刻胶；b)耐热性树脂；其中，所述基础光刻胶主要组分为酚醛树脂和光敏剂，所述耐热性树脂为显影液可溶解的含酰胺或酰亚胺基树脂。本发明的耐热性光刻胶组合物在曝光显影后，光刻胶的耐热性能提高；以及在蚀刻和离子注入等工艺时，可以更好的承受由于工艺带来的温度上升造成的尺寸变动，保持光刻胶不软化变形以达到工艺稳定性，保证了工艺良好的收率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐热性 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种耐热性光刻胶组合物，其特征在于，按重量份数计，包括：a)基础光刻胶；b)耐热性树脂；其中，所述基础光刻胶主要组分为酚醛树脂和光敏剂，所述耐热性树脂为显影液可溶解的含酰胺或酰亚胺基树脂。
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