[发明专利]片状晶圆加工用的载具

摘要

本发明公开了一种片状晶圆加工用的载具，包括开口方向朝上的壳体，壳体内设有用于调节产品水平倾角的调节机构，所述壳体内灌入磁流变液，以使得所述调节机构浸没于磁流变液内，当产品的下部连接于调节机构上时所述调节机构驱使产品摆动至设定位置后静置，且所述产品的待加工部分位于磁流变液液面的上方，所述壳体上设有磁场发生器，用于驱使壳体内的磁流变液固化或复位至呈流体状态。本发明提供一种片状晶圆加工用的载具，其对于载片晶圆的性能要求低，因此耗材成本小，同时在牢固装夹的基础上使得功能晶圆的碎片率低，因此整体产品的合格率高。

主权项

1.一种片状晶圆加工用的载具，其特征在于：包括开口方向朝上的壳体(1)，壳体(1)内设有用于调节产品(2)水平倾角的调节机构(3)，所述壳体(1)内灌入磁流变液(4)，以使得所述调节机构(3)浸没于磁流变液(4)内，当产品(2)的下部连接于调节机构(3)上时所述调节机构(3)驱使产品(2)摆动至设定位置后静置，且所述产品(2)的待加工部分位于磁流变液(4)液面的上方，所述壳体(1)上设有磁场发生器，用于驱使壳体(1)内的磁流变液(4)固化或复位至呈流体状态；/n所述调节机构(3)包括至少三个筒体(3.1)，全部筒体(3.1)沿水平方向间隔设置，且各筒体(3.1)的下端均与壳体(1)连接，所述筒体(3.1)内设有一中心通道，中心通道内滑动配合有一活塞杆(3.2)，活塞杆(3.2)的下端面与中心通道的内表面合围形成控制腔(3.3)，活塞杆(3.2)的上端沿竖直方向露置于筒体(3.1)上方，且活塞杆(3.2)外露于筒体(3.1)上方的端部设有用于与产品(2)连接或脱开的连接件；/n所述连接件为开口方向朝上的吸盘(3.4)；/n所述活塞杆(3.2)内设有连接管(3.5)，连接管(3.5)的上端与吸盘(3.4)的内腔连通，连接管(3.5)的下端与控制腔(3.3)连通，所述控制腔(3.3)通过控制管(5)与壳体(1)外的压力调节系统连接；/n所述吸盘(3.4)与活塞杆(3.2)为一体式结构，所述筒体(3.1)的下端通过万向接头(6)与壳体(1)转动配合；/n所述控制腔(3.3)的顶面沿竖直方向朝上内凹形成一开口方向朝下的凹槽(7)，所述壳体(1)内的磁流变液(4)依序经过吸盘(3.4)和活塞杆(3.2)内的连接管(3.5)灌入至控制腔(3.3)内，所述控制腔(3.3)内的磁流变液(4)在凹槽(7)的槽口位置或凹槽(7)内形成液封，以使得所述凹槽(7)内形成用于暂存气体的气腔；/n所述壳体(1)内设有一隔板(8)，所述隔板(8)与壳体(1)的内侧壁合围形成一密闭的储备腔(9)，储备腔(9)的底部设有与壳体(1)的内腔连通的输液通道(10)，且所述的输液通道(10)位于壳体(1)内磁流变液(4)的液面下方，所述储备腔(9)的侧壁上设有用于排出储备腔(9)内空气或朝储备腔(9)内充入空气的气嘴(11)；/n所述储备腔(9)的侧壁上设有进液管(12)，所述进液管(12)与储备腔(9)连通用于朝储备腔(9)内注入磁流变液；/n所述磁场发生器包括置于壳体(1)内的主励磁装置(13)和集成于隔板(8)内的辅助励磁绕组(14)；/n所述壳体(1)的外侧壁上设有一溢流槽(15)，所述溢流槽(15)沿壳体(1)的周向延伸呈环形结构。/n