[发明专利]晶圆层叠对准量测装置及其量测方法

摘要

本发明涉及一种晶圆层叠对准量测装置及其量测方法，装置包括载台本体，具有上端面；清洁装置具有设置在载台本体侧面的喷头，喷头的一端设置有喷嘴，喷头的另一端与管路连接；检测装置设置位置高于载台本体的上端面以及喷嘴的出口端部；控制系统用以驱动控制载台本体和喷头。方法包括将晶圆输送到载台本体加载位置处；同时控制系统控制载台本体移动到预设位置，管路向喷头内输送气体，喷嘴喷出气体对检测装置进行吹扫；清洁结束后载台本体移动到加载晶圆的加载位置，晶圆放置在载台本体的上端面。本发明的喷嘴在清洁光学组件检测面时能够将污染物吹落到远离载台本体的位置，避免污染物掉落到晶圆表面刮伤晶圆。

主权项

1.一种晶圆层叠对准量测装置，其特征在于，包括：载台本体，具有用于承载晶圆的上端面；清洁装置，具有设置在所述载台本体侧面的喷头，所述喷头联动于所述载台本体，所述喷头的一端设置有喷嘴，所述喷头的另一端与管路连接；检测装置，用于检测位于所述载台本体上的所述晶圆的制程叠对情况，所述检测装置设置位置高于所述载台本体的所述上端面以及所述喷嘴的出口端部；以及控制系统，用以驱动控制所述载台本体和所述喷头，所述控制系统控制所述载台本体在第一方向上水平移动，所述第一方向平行于所述上端面；在所述载台本体移动到预设位置的过程，所述载台本体同步带动所述喷头和所述管路；当所述载台本体移动到预设位置后，所述控制系统控制所述管路向所述喷头内输送气体，以清洁所述检测装置；其中，所述喷嘴朝向所述载台本体外侧倾斜向上设置，所述预设位置为所述检测装置的光学组件检测面对准于所述喷嘴方向，使所述载台本体移动到所述预设位置时，所述喷嘴向背离所述载台本体的斜上方位置喷出所述气体，且所述气体的吹扫范围覆盖所述检测面。