[发明专利]静电电容测量用的测量器有效
| 申请号： | 201810263265.9 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108693409B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 杉田吉平;南朋秀;西尾哲 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及静电电容测量用的测量器，能够对由环境引起的静电电容的测量值的变动进行修正。测量器具备基底基板、第一传感器、一个以上的第二传感器、以及电路基板。第一传感器具有沿着基底基板的边缘设置的第一电极。一个以上的第二传感器提供一个以上的第二电极，分别固定在基底基板上。电路基板搭载在基底基板上，与第一传感器及一个以上的第二传感器连接。电路基板构成为：对第一电极和一个以上的第二电极提供高频信号，根据第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值。测量器具有被固定在该测量器内并且面对一个以上的第二电极的一个以上的基准面。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 测量 测量器 | ||
【主权项】：
1.一种静电电容测量用的测量器，具备：基底基板；第一传感器，其具有沿着所述基底基板的边缘设置的第一电极；一个以上的第二传感器，所述一个以上的第二传感器各自提供一个第二电极从而提供一个以上的第二电极，所述一个以上的第二电极被固定在所述基底基板上；以及电路基板，其搭载在基底基板上，与所述第一传感器及所述第二传感器连接，该电路基板构成为：对所述第一电极和所述一个以上的第二电极提供高频信号，根据该第一电极中的电压振幅获取与静电电容对应的第一测量值，根据该一个以上的第二电极中的电压振幅获取与静电电容对应的一个以上的第二测量值，其中，所述测量器具有被固定在该测量器内并且面对所述一个以上的第二电极的一个以上的基准面。
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