[发明专利]图形显影装置及显影方法

摘要

本发明涉及一种图形显影装置及显影方法，装置包括冲洗喷头，冲洗喷头与固定安装部及管路连接，冲洗喷头具有喷嘴；振动装置具有变幅杆，变幅杆设置在固定安装部上且延伸至与喷嘴的中心轴线相交位置；载台位于冲洗喷头和振动装置下方，具有固定部和转动装置；控制系统与管路、振动装置以及转动装置电连接。方法包括将晶圆配置于固定部上，向晶圆喷涂显影液；控制系统控制转动装置带动固定部转动；控制系统控制管路输送清洗液经由喷嘴喷出，清洗液经过变幅杆获得声波能量后对晶圆表面进行冲洗。本发明的喷头喷出的清洗液经由变幅杆振动后，清洗液获得声波能量，因此能够更有效的清洁晶圆表面杂质，同时缩短了晶圆在清洗液中的浸蚀时间。

主权项

1.一种图形显影装置，其特征在于，包括：第一固定安装部；冲洗喷头，所述冲洗喷头与所述第一固定安装部及第一管路连接，所述冲洗喷头具有第一喷嘴，所述第一管路用于输送清洗液至所述冲洗喷头中；振动装置，具有用于产生第一振幅的变幅杆，其中，所述变幅杆的一端设置在所述第一固定安装部上，另一端延伸至与所述第一喷嘴的中心轴线相交位置，所述变幅杆与所述冲洗喷头和所述第一喷嘴之间的间距均大于所述第一振幅范围；载台，位于所述冲洗喷头和所述振动装置下方，所述载台具有用于放置晶圆的固定部，所述固定部底部设置有转动装置；以及控制系统，与所述第一管路、所述振动装置以及所述转动装置电连接；所述控制系统用于控制所述转动装置带动所述载台转动、用于控制所述第一管路输送所述清洗液，以使所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出、以及用于控制所述振动装置的所述变幅杆产生所述第一振幅，所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗。