[发明专利]图形显影装置及显影方法

权利要求书

1.一种图形显影装置，其特征在于，包括：

第一固定安装部；

冲洗喷头，所述冲洗喷头与所述第一固定安装部及第一管路连接，所述冲洗喷头具有第一喷嘴，所述第一管路用于输送清洗液至所述冲洗喷头中；

振动装置，具有用于产生第一振幅的变幅杆，其中，所述变幅杆的一端设置在所述第一固定安装部上，另一端延伸至与所述第一喷嘴的中心轴线相交位置，所述变幅杆与所述冲洗喷头和所述第一喷嘴之间的间距均大于所述第一振幅范围；

载台，位于所述冲洗喷头和所述振动装置下方，所述载台具有用于放置晶圆的固定部，所述固定部底部设置有转动装置；以及

控制系统，与所述第一管路、所述振动装置以及所述转动装置电连接；所述控制系统用于控制所述转动装置带动所述载台转动、用于控制所述第一管路输送所述清洗液，以使所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出、以及用于控制所述振动装置的所述变幅杆产生所述第一振幅，所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗。

2.如权利要求1所述的图形显影装置，其特征在于，所述变幅杆相对所述第一固定安装部竖直设置，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部倾斜设置，且所述冲洗喷头的所述第一喷嘴朝向所述变幅杆倾斜向下延伸。

3.如权利要求2所述的图形显影装置，其特征在于，所述变幅杆的长度小于所述第一固定安装部与所述晶圆端面之间的间距。

4.如权利要求2所述的图形显影装置，其特征在于，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部的倾斜角度范围为20°～70°。

5.如权利要求1所述的图形显影装置，其特征在于，所述冲洗喷头相对所述第一固定安装部竖直设置，所述变幅杆相对所述第一固定安装部倾斜设置，且所述变幅杆的所述另一端朝向所述冲洗喷头的所述第一喷嘴倾斜向下延伸。

6.如权利要求5所述的图形显影装置，其特征在于，所述变幅杆的所述另一端与所述晶圆端面之间的间距大于所述变幅杆的振幅范围。

7.如权利要求5所述的图形显影装置，其特征在于，所述变幅杆相对所述第一固定安装部的倾斜角度范围为20°～70°。

8.如权利要求1所述的图形显影装置，其特征在于，所述振动装置还包括：

超音波发生器，设置在所述第一固定安装部中，用于生成高频交流电；以及

换能器，设置在所述第一固定安装部中并与所述超音波发生器的输出端连接，用于将所述超音波发生器提供的所述高频交流电转变为具有第二振幅的机械振动；

其中，所述变幅杆的一端与所述换能器连接，用于将所述换能器提供的机械振动的第二振幅转变为所述第一振幅，其中，所述第一振幅大于所述第二振幅。

9.如权利要求8所述的图形显影装置，其特征在于，所述超音波发生器发出的信号至少包括超声波信号和兆声波信号的其中之一。

10.如权利要求1所述的图形显影装置，其特征在于，还包括传感器，设置在所述第一固定安装部上，用于检测所述冲洗喷头和所述振动装置位置。

11.如权利要求1所述的图形显影装置，其特征在于，所述图形显影装置还具有涂覆喷头和第二固定安装部，所述涂覆喷头与所述第二固定安装部及第二管路连接，所述涂覆喷头具有第二喷嘴，所述第二管路与所述控制系统电连接，所述控制系统控制所述第二管路输送显影液至所述涂覆喷头。

12.如权利要求1所述的图形显影装置，其特征在于，所述控制系统还与所述第一固定安装部电连接，以控制所述第一固定安装部带动所述冲洗喷头和所述振动装置移动到所述载台上方的预定位置。

13.一种显影方法，其特征在于，包括

提供如权利要求1至12任一项所述的图形显影装置；

将经过图形曝光的晶圆配置于所述图像显影装置中的所述载台的所述固定部上，向所述晶圆表面喷涂显影液；

当所述晶圆的光刻胶层与所述显影液充分反应后，所述控制系统控制所述转动装置带动所述固定部转动；

所述控制系统控制所述第一管路输送所述清洗液经由所述第一喷嘴喷出，并且控制所述振动装置所述变幅杆产生所述第一振幅，所述清洗液经过所述变幅杆获得声波能量后对所述晶圆表面进行冲洗；以及

冲洗结束后，所述控制系统控制所述转动装置变速转动，对所述晶圆进行甩干处理。