[发明专利]一种静电谐振式加速度计及加速度测量方法在审
| 申请号： | 201810224198.X | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN108398575A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 何高法;周明举;孟杰 | 申请（专利权）人： | 重庆科技学院 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙) 50223 | 代理人： | 王玉芝;杨明 |
| 地址： | 401331 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电谐振式加速度计，该加速度计包括质量块和至少一个谐振器，所述谐振器上设置有电极，所述质量块为导体，所述质量块与所述谐振器之间被施加一定的直流电压，使谐振器受到一定的静电力，在某一频率下处于谐振状态。本发明采用谐振器和质量块分离设计，谐振器和质量块之间的作用力为非接触长程静电力，确保谐振器的独立工作，提高了谐振器的品质因子和灵敏度。本发明中，感应加速度变化量的静电力作用在谐振器梁(或音叉梁)的横向，对谐振频率的影响大，加速度计灵敏度高。在制造工艺方面，本发明将谐振器和质量块分离制造，结构简单，制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振器 质量块 谐振式加速度计 静电 静电力 加速度计灵敏度 加速度变化量 加速度测量 静电力作用 分离设计 加速度计 品质因子 谐振频率 谐振器梁 谐振状态 直流电压 制造成本 制造工艺 导体 非接触 灵敏度 电极 长程 音叉 施加 制造 | ||
【主权项】：
1.一种静电谐振式加速度计，其特征在于，该加速度计包括质量块和至少一个谐振器，所述谐振器上设置有电极，所述质量块为导体，所述质量块与所述谐振器之间被施加一定的直流电压，使谐振器受到一定的静电力，在某一频率下处于谐振状态。
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