[发明专利]金属荫罩及其制备方法有效
| 申请号： | 201810206282.9 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108486616B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 潘仲光;童圣智;陈霞玲 | 申请（专利权）人： | 阿德文泰克全球有限公司 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00;C23C14/24;H01L51/56;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京太合九思知识产权代理有限公司 11610 | 代理人： | 刘戈 |
| 地址： | 英属维尔京群岛托*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种金属荫罩，其制备方法包括：提供模板以及进行了多次的压膜、曝光、显影以及电铸的循环程序，获得在相对二侧面上具有不同开口口径大小的金属荫罩，通过这种口径大小的变化，使金属荫罩具有台阶结构的蒸镀角。本申请通过分层电铸的方法在金属荫罩中引入蒸镀角，解决了现有技术蒸镀不均匀以及容易产生蒸镀阴影的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种金属荫罩的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一模板；设置一感光膜于所述模板上；曝光及显影，使所述感光膜在所述模板上形成多个第一结构；形成第一层金属层于所述模板上；移除所述多个第一结构，使所述第一层金属层上形成对应于所述多个第一结构的多个第一开口；设置所述感光膜于所述第一层金属层上；曝光及显影，使所述感光膜形成对应于所述多个第一开口的多个第二结构，且所述第二结构的尺寸大于所述第一开口的尺寸；形成第二层金属层于所述第一层金属层上，与所述第一层金属层结合成金属荫罩；以及移除所述多个第二结构，使所述第二层金属层上形成对应于所述多个第一开口的多个第二开口。
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