[发明专利]流动气氛导模法多片蓝宝石长晶装置及方法在审
| 申请号： | 201810184306.5 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN108411367A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王庆国;徐军;罗平;吴锋;唐慧丽;刘军芳;刘斌;王东海 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/34 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种流动气氛导模法多片蓝宝石长晶装置及方法，包括熔炉和气氛装置，所述的熔炉置于气氛装置内，并在气氛装置内输入流动方向为下进上出的惰性气体，所述的熔炉包括托盘、设置在托盘上的保温筒(4)、套设在保温筒(4)上的感应线圈(8)、由下而上依次设置在保温筒(4)中的底部保温层(13)、坩埚(11)、生长模具单元(10)、籽晶(6)以及籽晶杆(1)，所述的籽晶(6)固定在籽晶杆(1)底端，并通过籽晶杆(1)可上下移动地设置在生长模具单元(10)的正上方。与现有技术相比，本发明能够有效调控蓝宝石长晶界面区域的温度梯度分布，实现多片(>20片)蓝宝石晶体整张的同步一致性，生长过程可见可控，晶体质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 保温筒 籽晶杆 多片 熔炉 托盘 长晶装置 流动气氛 模具单元 导模法 籽晶 温度梯度分布 底部保温层 可上下移动 蓝宝石晶体 同步一致性 惰性气体 感应线圈 界面区域 生长过程 依次设置 有效调控 生长 底端 可控 坩埚 流动 | ||
【主权项】：
1.一种流动气氛导模法多片蓝宝石长晶装置，其特征在于，包括熔炉和气氛装置，所述的熔炉置于气氛装置内，并在气氛装置内输入流动方向为下进上出的惰性气体，所述的熔炉包括托盘、设置在托盘上的保温筒(4)、套设在保温筒(4)上的感应线圈(8)、由下而上依次设置在保温筒(4)中的底部保温层(13)、坩埚(11)、生长模具单元(10)、籽晶(6)以及籽晶杆(1)，所述的籽晶(6)固定在籽晶杆(1)底端，并通过籽晶杆(1)可上下移动地设置在生长模具单元(10)的正上方，所述的坩埚(11)底部设有推杆，并通过推杆可上下移动地设置在生长模具单元(10)的正下方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于同济大学，未经同济大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810184306.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
